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作者：蓝宝石长晶炉用钨钼制品生产商-厦门中钨    文章来源：网站转载    更新时间：2012-12-24 14:59:09

理想能源第二代量产型MOCVD设备获璨圆37台应用验证合同

上海理想能源有限公司研制开发的LED核心制造装备MOCVD设备成功下线，并与台湾璨圆光电公司签订了37台套设备应用验证合同，为下一步投入市场、大规模产业化奠定了基础。

上海理想能源设备有限公司利用不到两年的时间自主研制了具有单腔产能84片2英寸外延片的单腔体MOCVD反应腔，及3腔体252片产能的簇式多腔体自动化MOCVD系统。新型设备称是依据工艺验证结果和客户反馈，在第一代原型机的基础上开发出第二代量产型MOCVD设备，单腔一次可生产84片2英寸外延片，超过主流进口设备。量产机型在产出率、可靠性、运行经济性等方面都有了显著的提升。

 

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