道康宁追加订购爱思强设备扩充SiC外延产能
近日,道康宁(Dow Corning)和爱思强股份有限公司(AIXTRON SE)宣布,为扩大碳化硅(SiC)外延产能,道康宁特增订两套爱思强AIX 2800G4 WW 行星式反应器平台,分别用于生产10x100 mm和6x150 mm碳化硅晶片。
上述反应器计划于2012年第二季度进行安装调试。道康宁公司电力电子业务分部工业主管Tom Zoes表示,公司扩张碳化硅外延产能,显示了领导层对促进业务发展的决心。
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